Резистивен
Резистивен сензор е устройство, което преобразува измерени физически величини като изместване, деформация, сила, ускорение, влажност, температура и т.н. в стойности на съпротивление. Има главно резистивен тензодатчик, пиезорезистивен тип, термично съпротивление, термични, чувствителни към газ, чувствителни към влага и други резистивни сензорни устройства.
Резистивен тензодатчик
Резистивните тензодатчици в сензора имат ефект на метална деформация, т.е. възниква механична деформация под действието на външна сила, така че стойността на съпротивлението се променя съответно. Има два основни вида съпротивителни тензодатчици: метални и полупроводникови, а металните тензодатчици се разделят на телени, фолийни и тънкослойни. Полупроводниковите тензометрични датчици имат предимствата на висока чувствителност (обикновено десетки пъти по-голяма от тази на жиците и фолиото) и малък напречен ефект.
Пиезорезистивен
Пиезорезистивните сензори са устройства, направени чрез съпротивление на дифузия върху субстрата от полупроводникови материали според пиезорезистивния ефект на полупроводниковите материали. Субстратът може да се използва директно като сензорен елемент за измерване, а съпротивлението на дифузия е свързано към субстрата под формата на мост. Когато субстратът се деформира от външна сила, стойностите на съпротивлението ще се променят и мостът ще произведе съответния небалансиран изход.
Материалите на субстрата (или диафрагмата), използвани като пиезорезистивни сензори, са главно силициеви пластини и германиеви пластини, а силициевите пиезорезистивни сензори, направени от силициеви пластини като чувствителни материали, привличат все повече внимание, особено за пиезорезистивни сензори в твърдо състояние, които измерват налягане и скорост.
RTD
Измерването на температурата на съпротивление се основава на факта, че съпротивлението на метален проводник се увеличава с повишаване на температурата. Термичното съпротивление се прави предимно от чисти метални материали, като платината и медта са най-широко използваните, а материали като никел, манган и родий започнаха да се използват за създаване на термични съпротивления.
RTD сензорите измерват температурата и свързаните с нея параметри, като използват факта, че стойността на съпротивлението се променя с температурата. Този сензор е по-подходящ за случаи, когато се изисква точност на отчитане на температурата. По-обширните материали за RTD са платина, мед, никел и др., които имат характеристиките на голям температурен коефициент на съпротивление, добра линейност, стабилна производителност, широк температурен диапазон и лесна обработка. Използва се за измерване на температурата в диапазона от -200 градуса ~+500 градуса.